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    MFC-UT系列智能化、緊湊型質量流量控制器

    簡要描述:MFC-UT系列智能化、緊湊型質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內的微機電(MEMS)流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-09-20
    • 訪  問  量:1132

    詳細介紹

    MFC-UT系列智能化、緊湊型質量流量控制器Mass Flow Controller)是基于業內微機電(MEMS)流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,超高的集成度使該產品能夠縮小一半體積,可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。

    MFC-UT系列智能化、緊湊型質量流量控制器產品應用于:半導體加工、分析和環保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比

     

    產品特點:

    溫度和壓力不敏感

    設計勁湊,可安裝任意位置

    優越的零點穩定性

    超快的響應速度

    良好的重復性和再現性

    采用液晶觸控顯示和控制

    配備進口比例電磁閥

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