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芯笙氣體質量流量控制器MEMS氣體流量計

簡要描述:青島芯笙MFC-S500系列氣體質量流量控制器,采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器芯片,具有*的氣體流道設計,可實現靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數字和模擬控制方式,并配備工業級顯示屏,方便客戶現場調試和配置。

  • 產品型號:流量控制 S500
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-09-20
  • 訪  問  量:1775

詳細介紹

新一代工業級流量傳感器芯片與先進氣路結構的結合

數字質量流量控制器:采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器芯片,結合低壓損氣路結構以及高精度數字控制電路和算法,實現寬溫范圍內的高精度、高穩定性、寬量程比控制。該產品配備現場調試屏及獨立供電接口,適配半導體 、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環境 。

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   基于科學家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質量流量成正比”理論發展而來。無氣流時,以Heater為中心的溫度場對稱分布;有氣流時,溫度場分布發生偏移,導致上下游出現溫差,通過測量該溫差,即可推算出流過芯片表面的氣體質量流量。

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   青島芯笙MFC-S500系列氣體質量流量控制器,具有*的氣體流道設計,可實現靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數字和模擬控制方式,并配備工業級顯示屏,方便客戶現場調試和配置。

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